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日本哈默納科電機 半導體行業應用HD減速機FHA-14C-30-US200-E
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產品描述

工作模式機械 材質 用途工業 定制可以定制 伺服電機 適用壓力常壓 接管口徑多種 溫度范圍常溫
隨著科技的發展,傳統的伺服電機加減速機的結構已遠不能滿足現在工業的高精度要求。其局限性在于減速機的背隙、振動,以及伺服電機本身的性能等。DD馬達作為伺服產品的延伸,除延續了伺服電機的優良特性以外,不用連接減速機,直接與負載相連。省掉了減速機等機械結構,提高了系統的精度。同時消除了由于使用減速機而產生的效率損失,充份利用了能源。
DD馬達適用于各種產業裝置機械,特別是半導體制造檢查裝置、液晶制造裝置,如:
1、應用于高性能膠片、充電電池;
2、應用于LED檢測系統;
3、手機面板貼膜機;
4、應用于太陽能電池設備;
5、應用于半導體IC測試機;
6、半導體劃片機;
7、應用于LCD研磨機;
8、LCD行業彩色濾光片鍍膜機;
9、光媒體CVD/PVD濺射機;
10、科研大型天體望遠鏡;
11、汽車行業轉向測試;
12、醫療行業血糖值試驗機;
13、伺服壓力機;
14、光媒體CVD/PVD濺射機。
半導體行業應用HD減速機FHA-14C-30-US200-E
dd馬達特點及優點:
(1)不需要回原點:使用編碼器在不需要原點的情況下就可以確定當前位置。
(2)高精度:每圈可以分為2個脈沖,20/24的脈沖,定位的精度可以小于等于/-30弧秒。
(3)高扭矩:有限體積內高扭矩輸出,能以高轉速驅動大負荷。
(4)高剛性:徑向和軸向負荷能力大、靜負荷大的交叉軸承。
(5)不需要維護:不需要額外的電機維護工作,例如添加潤滑油。
(6)安裝容易:不需要使用減速機、滑輪、齒輪等中間配件,可直接裝載,減少了部件安裝調試的時間。
(7)低噪音:不需要中間連接器直接安裝負載,因此可減少使用過程中的大量噪音。
(8)快速響應:直接安裝負載,不需要中間連接器,響應速度快,可在較短的時間內設定好的精度。
半導體行業應用HD減速機FHA-14C-30-US200-E
執行元件的種類及特點:
根據使用能量的不同,可以將執行元件分為電磁式、液壓式和氣壓式等幾種類型。
電磁式是將電能變成電磁力,并用該電磁力驅動運行機構運動。
液壓式是先將電能變換為液壓能并用電磁閥改變壓力油的流向,從而使液壓執行元件驅動運行機構運動。
氣壓式與液壓式的原理相同,只是將介質由油改為氣體而已。其他執行元件與使用材料有關,如使用雙金屬片、形狀記憶合金或壓電元件。
半導體行業應用HD減速機FHA-14C-30-US200-E
因dd馬達輸出扭矩大,故又稱力矩電機。不像傳統電動機,電動機的強大轉矩使它直接與運動裝置相連,從而消除了對減速器、齒輪箱和皮帶輪等聯接機構的需要,因而被稱為直驅動電機。另外,該電機配有高分辨率編碼器,可實現比普通伺服器更高的精度。并通過直接聯接的方式,減少機械結構帶來的定位誤差,保證加工精度。此外,在使用過程中,由于機械結構的摩擦和噪聲而引起的尺寸誤差也大大降低。
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